高溫箱式爐的真空系統說明

　　高溫箱式爐爐體采用雙層爐殼結構，雙層爐殼之間裝有風機，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。高溫箱式爐爐膛材料采用的進口氧化鋁多晶纖維，節能50%，上下加熱溫場均勻（暗火加熱）。高溫箱式爐加熱元件采用硅碳棒。電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序等功能，高溫箱式爐該控制系統溫度顯示精度為1℃，溫場穩定度±5℃，升溫速率1~20℃可任意設置。

　　高溫箱式爐的真空系統說明：

　　1、真空系統為擴散泵機組：即為擴散泵 旋片真空泵由高真空擴散泵、水冷擋板、旋片真空泵、電磁真空帶充氣閥、高真空氣動檔板閥（主閥）、高真空氣動檔板閥預抽閥、高真空氣動檔板閥（出口閥）、前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復合真空計及配電柜等組成的抽氣系統。

　　2、高溫箱式爐不適宜抽除對金屬有腐蝕作用和對泵油起化學反應的氣體。高溫箱式爐可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置。高溫箱式爐工作環境溫度5~40℃，相對濕度不大于85%，冷卻水溫度25℃ 5℃。

　　3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內部材料（爐體內壁、實驗器件、熱沉等）的放氣量有關，高溫箱式爐的壓力為6.67×10-3pa,使用壓力為6.67×10-2pa，抽氣時間約為1小時。

　　4、擴散泵不能單獨形成抽氣，由前級泵將系統壓力降低至擴散泵要求啟動的壓力之內，一般為≤10pa。

　　5、在擴散泵的進氣口裝有新型的水冷檔板，可的防止擴散泵中的油蒸汽返流入真空室內，避免對實驗儀器的污染。

　　6、為了防止前級泵中的真空油在停泵時返流入擴散泵泵腔內，在前級真空的進氣口配電磁閥，在停泵時自動將系統管路隔離。

　　7、閥門均采用氣動動方式，高溫箱式爐操作方便。

　　8、在開始抽氣時,高溫箱式爐此系統中設置有預抽管路,被抽氣體不經過擴散泵而由前級泵直接抽出,這樣做可避免被抽容器中氣體對擴散泵的污染（水分、揮發物、雜質），待被抽容器壓力降低至10pa時,關閉預抽閥、開啟擋板閥,擴散泵開始對被抽容器開始正常抽氣。